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跃上新高度
广州进行时
6英寸车规级碳化硅晶圆制造无尘车间内，设备上绿色、黄色灯光闪烁，工作人员看一眼就知道设备处于生产还是闲置状态；几名设备工程师正在调试新装设备，冲刺扩产；“天车”沿着无尘车间屋顶的轨道悬垂于空中往返穿梭，调试与机器人“搭档”搬运芯片，将实现机台到机台的全自动无人化搬运；无尘车间外的办公室内，工程师坐在电脑前通过设备共享屏幕远程监控设备状况，“千里眼”明察秋毫，指尖轻点键盘即可随时远程处理各种状况……新年伊始，位于广州南沙的国内最大专注于车规级碳化硅芯片制造企业芯粤能厂内一派热火朝天的生产景象。
作为广东“强芯工程”重大项目，芯粤能今年正加速一期产能爬坡，年底实现年产24万片6英寸车规级碳化硅芯片的规划产能。芯粤能项目达产后将极大缓解当前国产车规级碳化硅芯片紧缺的现状，成为全球领先的车规级碳化硅功率半导体制造企业之一，解决碳化硅芯片“卡脖子”问题，奠定中国碳化硅功率器件领域的领先地位。
（广州日报全媒体记者耿旭静、董业衡 通讯员覃思晓、南宣）
详细报道见3版
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